如何进行半导体老化测试？
通过进行老化测试来复制实际的现场应力环境有助于降低故障率。老化测试对于确保生产线的质量控制至关重要。
ThermoTST GC80H
ThermoTST GC80H气体制冷机是一种闭环制冷系统，设计用于将干燥气体(如氮气，氩气或空气)从环境温度冷却到低温状态。
ThermoTST GC80H气体制冷机使用制冷级联技术，以实现低温和超低温冷却气体冷却工艺，无需使用液氮和干冰的消耗性冷却剂，降低了成本、风险；是气体制冷应用非常具有成本效益的系统。ThermoTST GC80H是高度可靠的制程气体制冷系统，广泛用于航空航天，汽车，国防，半导体和其他行业。
特点
结构紧凑，移动式设计
触摸屏操作，人机交互界面
不需要液氮LN2，干冰
出口气体流量可自行设定
集成式气体干燥器，无需外置（压缩空气配置选项，小于24SCFM的系统）
单级压缩机，节能环保，性能可靠
风冷或水冷机型可选
专有制冷剂，符合环境气候协议
应用
电子产品的低温性能验证
半导体加工部件冷却
晶圆卡盘的低温冷却
真空腔室的低温气体充注
流变学研究
材料的低温表征实验
技术规格
| 有效温度范围 | ≤ -80℃ |
| 流量范围 | 5 ~24 SCFM（1.9 L/s ~ 11.3L/s） |
| 供气流量 | 15 ~ 30SCFM（7.2至14.1L/s） |
| 性能 | ≤-80°C，制冷机输出22SCFM |
| 预冷时间 | ≤ 20min |
| 系统操作 | 高清彩色触摸屏，7”TFT |
| 系统语言 | 中文/英文 |
| 进/出气接口 |
1/2”Rc Female 3/4”Rc Female |
| 通讯接口 | RS-232，LAN |
| 制冷剂 | 环保型冷媒 |
| 噪音 | ≤65dBA |
| 供气气源要求 | |
| 气体 | 各种干燥气体（如：氮气，氩气，氧气等）或洁净的压缩空气 |
| 气体含油量 | 油分子：≤ 0.01ppm，过滤至0.1um的油雾污染物 |
| 进气温度 | +5°C至+25°C |
| CDA时压力露点 | ＜ 10℃ @0.62Mpa（90PSI） |
| CDA时进气压力 | 15 ~ 30SCFM（7.2至14.1L/s）;标准25SCFM(11.8L/S) |
| 设备工作环境要求 | |
| 温度 | +10 ºC 至 + 25 ºC |
| 相对湿度 | 5% 至 85% |
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