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激光集成到芯片上的方法有哪些?
2024-05-09 09:24:03

      光子集成电路(PIC)是利用光子学原理实现信息传输和处理的电路,它可以在高速、大带宽和低能耗的条件下实现高效的信息传输和处理。这种电路把光器件和电子器件集成在同一基片上,通过使用硅制造技术制造大部分集成电路。

     目前有四种方法可以实现激光和硅的这种更紧密的集成:倒装芯片加工、微转移印刷、晶圆键合和单片集成。

1.倒装芯片集成

     这是一种将激光器直接集成到硅晶圆上的芯片封装技术,其原理在于芯片的电连接装置位于顶部,最上层的互连在金属焊盘处结束。该技术依赖附着在焊盘上的焊料球,然后将芯片翻转,使焊料与芯片封装上的对应焊盘对齐并熔化焊料,从而将芯片连接到封装上。具体到激光与硅光子芯片的集成,边发射激光器会在晶圆上被完全加工,然后被切割成单独的芯片,并由供应商测试。之后,使用高精度的倒装芯片工艺,将单个激光芯片键合到目标硅光子晶圆上。这种方法的关键在于确保激光器的输出与硅光子芯片的输入在边缘发射时一致。

2.微转印

     微转移印刷使用粘合剂,甚至可以仅靠分子键合,这依赖于两个平面之间的范德华力,将激光固定到位。微转移印刷消除了对接耦合的一些对齐困难,印模将激光器与硅光子晶圆上的波导结构对齐,并将它们粘合在那里,具有更大的对齐容差使该技术能够一次传输数千个设备,加快了组装过程。

3.晶圆键合

     III-V 族硅晶圆键合的技术,将 III-V 族半导体的空白芯片(甚至小晶片)粘合到该硅晶片,可以在已有相应硅波导的地方构建所需的激光设备。在与硅晶圆键合后,可以使用标准光刻和晶圆级工艺在与底层硅波导对齐的外延层中制造激光二极管。然后蚀刻掉任何不需要的 III-V 材料。

     晶圆键合的缺点是需要大量投资来建立一条生产线,该生产线可以使用用于制造 200 毫米或 300 毫米的硅晶圆的工具来处理 III-V 族工艺步骤毫米直径。

4.单片集成

     消除任何粘合或对齐的需要,直接在硅上生长 III-V 族半导体,并且将减少浪费的 III-V 材料的数量。在硅上生长的每个 III-V 层都会产生应变。仅添加几纳米的 III-V 薄膜后,晶体中就会出现缺陷,从而释放累积的应变。这些缺陷包括开路晶体键线和局部晶体畸变,这两者都会严重降低光电器件的性能。为防止这些缺陷破坏激光器,通常涉及铺设一层几微米厚的 III-V 材料,在下面的失配缺陷和上面的无应变区域之间形成一个巨大的缓冲区,激光设备可以在那里制造。这是目前唯一可真正单片集成激光器的技术。

     每种方法都有其特定的应用场景和优缺点,选择哪种方法取决于具体的应用需求、集成难度、成本以及性能要求等因素。在实际操作中,还需要考虑激光与芯片之间的耦合效率、热管理、以及封装和测试的可行性等问题。

 

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