在半导体测试中,测试机的测试头和分选机(handler)或晶圆探针台(wafer prober)需要对接产生信号联系,在被测试器件(device to be tested )之间,通过输入输出测试信号(testing signal ),执行被测试器件的测试的半导体测试装置和可安装在这样的半导体测试装置上的接口板。
在ATE 设备测试过程中,测试头(test head)和晶圆探针(prober)之间机械接口稳定连接相当重要。客户往往面临着频繁测试对接任务,测量精度要求高,不同的测试机和探针台组合,位移等一系列挑战......所以他们需要在测试机和探针台之间建立一组稳定的信号连接关系,则需要临时将被测试器件实际安装在半导体测试装置上,通过半导体测试装置上设置的信号组件与被测试之间输入输出测试信号来执行测试。
以下是常见的接口对接示意图:
Tester – Prober 测试机 - 探针台
Tester – Handler 测试机 – 分选机
Tester - Prober 测试机 - 探针台