探针台是一种晶圆探针测试设备，探针测试在半导体器件制造流程具有重要的地位，通过探针测试，可及时发现晶圆中性能异常的晶粒，减少后续工序的加工耗费。

       探针台通过XYZR四轴运动平台移动Chuck台，使探针准确对准并接触晶粒上的焊盘。接着驱动测试机通过探针向被测晶粒施加测试程序。测试机完成测试后，将结果返回给探针台控制程序。探针台保存测试结果，并根据结果对晶粒做相应的标记。

探针台测试系统组成

       探针测试系统可大致分为两类：探针台及测试系统，其中探针台又由工控机、位置控制模块、图像采集模块和I/O模块等四部分。

       位置控制模块：该模块主要由运动控制卡(如欧姆龙的CK3M)，四轴运动平台，四个控制电机以及驱动器以及一些光电开关组成。

       四轴运动平台是自动探针台的主要机械结构，用来实现承片台的水平移动、升降和旋转。

       X轴的水平运动主要用于使承片台准确移动至下一个测试位置，实现晶粒的进给；

       Y轴则主要用于测试过程中的晶粒换行；

       Z轴主要通过控制承片台的高度，控制探针与晶粒焊盘的接触与分离，另外Z轴还可控制CCD的精密对焦；

       R轴可在一定范围内进行旋转，主要用于角度调整，保证晶粒在承片台上的排列与X或Y轴同向。

       I/O模块: 作用是采集外部传感器的信号或输出外围辅助器件的控制信号。输入信号主要包括点动控制手柄、探边器信号、结束测试信号EOT等；而输出信号主要包括开始测试START信号，测试的TTL结果，真空吸盘、蜂鸣器以及报警灯的控制信号等。

       图像采集模块：作用是采集晶圆及晶粒的图像数据，上位机根据相应的数字图像处理算法自动识别出晶圆的圆心位置，实现对晶粒的模板匹配，并计算出晶粒在Chuck台上的排列方向。

       测试模块: 主要由测试机(如V93000等)、探针等部件组成。其中测试机根据特定的通信协议，从上位机接收START（开始测试）、EOT（结束测试）等控制指令，向探针施加测试程序，获取测试结果并发送给上位机。

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