分选机和探针台是将芯片的引脚与测试机的功能模块连接起来并实现批量自动化测试的专用设备。在设计验证和成品测试环节，测试机需要和分选机配合使用；在晶圆检测环节，测试机需要和探针台配合使用。

       分选机的特点:

       1.由于集成电路的小型化和集成化特征，分选机对自动化高速重复定位控制能力和测压精度要求较高，误差精度普遍要求在0.01mm等级。

       2.分选机的批量自动化作业要求其具备较强的运行稳定性，例如对UPH(每小时运送集成电路数量)和Jam Rate(故障停机比率)的要求很高。

       3.集成电路封装形式的多样性要求分选机具备对不同封装形式集成电路进行测试时能够快速切换的能力，从而形成较强的柔性化生产能力及适应性。

       4.集成电路测试对外部测试环境有一定要求，例如部分集成电路测试要求在-55—150°C的多种温度测试环境、无磁场干扰测试环境、多种外场叠加的测试环境中进行，如何给定相应的测试环境是分选机技术难点。

       气体制冷机是一种闭环制冷系统，设计用于将干燥气体(如氮气，氩气或空气)从环境温度冷却到低温，而无需预冷，气体是非循环的。气体制冷机使用制冷级联技术，以实现低温和超低温冷却气体冷却工艺，无需使用液氮和干冰的消耗性冷却剂，降低了成本、风险；是气体制冷应用非常具有成本效益的系统。广泛的温度范围可为分选机提供稳定的温度环境，应用于半导体加工部件冷却、材料的低温表征实验等试验。

       探针台的特点:

       1.探针台精度要求非常严苛，重复定位精度要求达到0.001mm(微米)等级。

       2.晶圆检测对于设备稳定性要求极高，各个执行器件均需进行多余度的控制，晶圆损伤率要求控制在1ppm(百万分之一)以内。

       3.晶圆检测需具备多套视觉精密测量及定位系统，并具备视觉相互标定、多个坐标系互相拟合的功能。

       4.探针台对设备工作环境洁净度要求极高，除需达到几乎无人干预的全自动化作业，对传动机构低粉尘提出要求，还需具备气流除尘等特殊功能。

       Chiller 液冷机是一台对循环液进行温度控制并输出冷热液的装置。具有温度稳定性高、温度范围广、故障自诊断、外部通信等丰富功能。具有广泛的温度范围：-20℃至+90℃，能为探针台在测试过程中提供稳定的温度环境，在半导体制作过程/激光加工机/分析装置/LCD制造装置/金属模具温控等行业用途广泛。