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CP测试系统由哪几部分构成?
2025-01-13 14:05:14

      CP测试是指在晶圆还未切割和封装之前,直接在晶圆上对每一个芯片单元(Die)进行的电性和功能性测试。这是一种“探测”性的测试,目的是尽早识别和剔除不合格的芯片,避免不必要的后续成本。这个测试系统主要由以下几个核心部分组成:

     测试机(ATE):通过一系列标准化的测试程序来检测芯片的各项性能指标。它的主要组成包括:

· 测试机头:与芯片直接接触,执行具体的测试任务。

· 测试程序:由工作站从服务器下载后在本地执行。

     探针台(Prober):负责将晶圆定位准确,以便测试机能进行精确检测。探针台通过操作将探针卡上的探针准确对准晶圆上的测试焊盘,确保信号顺利传递。

     探针卡(Probe Card):可视为连接测试机与晶圆的管道,它上面的探针接触晶圆上的测试焊盘,把电信号传递至芯片。探针通常由优质导电材料制成,以确保信号传输的有效性。

     针测接口板和针塔:这两者结合形成一个完整的信号回路,让电信号从ATE传输到探针,再到晶圆。

     晶圆卡盘(Chuck):它固定晶圆位置,稳固且精确地保持晶圆在正确的位置以利于测试机进行有效诊断。

     CP测试通过探针卡(Probe Card),将电信号传导到每个芯片单元,并通过测试设备对其电性能进行测量。测试项通常包括阈值电压(Vt)、导通电阻(Rdson)、漏电流(Idss)等基础电性能参数,所有部分都紧密地协作,就像一个完整的体检过程,确保每颗芯片都通过严格的测试程序,为下游的生产工序提供高质量的“健康”芯片。通过这样的系统性测试,工厂能大幅度降低生产缺陷,保证产品质量。

 

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