Chiller ZC209是一台对循环液进行温度控制并输出冷热液的装置。具有温度稳定性高、温度范围广、故障自诊断、外部通信等丰富功能。

为了研究铜（Cu）互连与不同化学性质玻璃基板的兼容性和可靠性，我们在不同玻璃基板上制备了铜测试结构，并进行了有偏置的高加速应力测试（HAST）。

晶圆探针台的工作原理是通过一组微型探针与芯片的测试点接触，以实现电信号的传输和测量。这些探针通常由金属材料制成，能够在微米级别的精度下进行定位。

温度卡盘TC系列是一款温度范围为-65℃到200℃气冷型高低温卡盘系统，主要由气冷高低温卡盘和气冷温控器组成。

探针台是一种晶圆探针测试设备，探针测试在半导体器件制造流程具有重要的地位，通过探针测试，可及时发现晶圆中性能异常的晶粒，减少后续工序的加工耗费。

环境应力筛选（Environmental Stress Screening, ESS）试验是一种通过模拟产品在极端环境条件下的使用情况，来检测产品设计和制造过程中可能存在的潜在缺陷的测试方法。