ICP和CCP刻蚀的优势分别有哪些?
在 ICP 刻蚀设备中,感应线圈一般位于反应腔室的上方或周围,当射频电流通过线圈时,会产生周期性变化的磁场。根据法拉第电磁感应定律,变化的磁场会在腔室内感应出环形的电场。
2025-05-27 11:32:11
在实验室操作中,每天都会使用到各种化学药品、化学试剂、生物试剂、仪器设备,某些实验条件下,还会遭受诸如:高温、低温、高压、真空和辐射源的伤害,特别是使用气体时,对气体存储安置不当,如平放或倒置气瓶、气体阀门长时间不检修造成气体泄漏所引起的毒害,爆炸等潜在危险情况。让我们一起来了解气体的禁忌吧!