半导体制造过程中需要哪些温控设备?
半导体制造对温度控制精度要求极高,温度波动0.1℃就可能导致晶圆报废,对应的温控附属设备是保障制程良率的关键配套系统。
2026-07-24 16:10:38
现在被称作半导体器件的种类如下所示。按照其制造技术可分为分立器件半导体、光电半导体、逻辑IC、模拟IC、存储器等大类,一般来说这些还会被再分成小类。IC除了在制造技术上的分类以外,还有以应用领域、设计方法等进行分类,如按其所处理的信号可以分成模拟、数字、模拟数字混成及功能IC,以及按IC、LSI、VLSI(超大LSI)及其规模进行分类等。如下图表:
